Keithley 6517B 靜電計(jì) / 高阻表是全球科研實(shí)驗(yàn)室靈敏測量的標(biāo)準(zhǔn)。吉時利在弱電測量方面擁有 60 多年的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，吉時利靜電計(jì)能夠可靠地測量最低 10 aA (10×10-18A) 電流、最低 1 fC 電荷，并支持最高 1018Ω 的電阻測量。6517B 還能夠測量高達(dá) 200 V 的最大電壓范圍，輸入阻抗超過 200 TΩ。所有這些性能都融合在一臺儀器中，操作起來像數(shù)字萬用表一樣簡便。

主要特點(diǎn)

測量高達(dá) 1018 Ω的電阻

10 aA (10×10-18 A) 電流測量分辨率

6517B、8009 電阻率測試夾具和 KickStart 高電阻率應(yīng)用相結(jié)合，為 ASTM D257 高電阻率測量提供完整的硬件和軟件解決方案

<3 fA 輸入偏置電流

6 位半高準(zhǔn)確度測量模式

最低電流范圍上 <20μV 壓降

高達(dá) 200 V 電壓測量，>200TΩ 輸入阻抗

內(nèi)置 ±1000 V 電壓源

獨(dú)有高阻測量交換電極電壓源和測量方法

內(nèi)置測試序列，支持四種不同器件表征測試、表面和體電阻率、表面絕緣電阻和電壓掃描

選配插入式掃描卡，可使用一個測試設(shè)置測試最多 10個器件或材料樣本

GPIB 和 RS-232 接口

杰出的性能指標(biāo)

6517B 把吉時利數(shù)十年的弱電測量技術(shù)知識融匯到創(chuàng)新的低電流輸入放大器中，輸入偏置電流 <3 fA，噪聲僅 0.75fA p-p，最低電流范圍上壓降 <20 μV。對近似理想的電路 負(fù)荷，電壓電路輸入阻抗超過 200 TΩ。這些指標(biāo)保證了所需的準(zhǔn)確度和靈敏度，可以在物理、光學(xué)、納米科技和材料科學(xué)等領(lǐng)域準(zhǔn)確地進(jìn)行低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測 量。內(nèi)置 ±1 kV 電壓源擁有掃描功能，簡化了絕緣材料上的漏流、擊穿和電阻測試及體電阻率 (W-cm) 和表面電阻率(W/square) 測量工作。

寬測量范圍

6517B 在電流、電阻、電壓和電荷測量量程的整個頻寬上提供了自動量程功能。6517B 融合了以下測量功能：

超靈敏電流表，可測量 10 aA ~ 20 mA 電流

阻抗最高的電壓表，可測量 1mV ~ 200 V 電壓

超高范圍電阻表，可測量 1Ω ~ 1018 Ω 電阻

靈敏的電量計(jì)，可測量 1 fC ~ 2μC 電荷

交換電極電壓源方法消除了材料中背景電流的影響，可以進(jìn)行可重復(fù)的、準(zhǔn)確的高阻和電阻率測量。

改進(jìn)高電阻率測量

許多測試應(yīng)用要求材料有高電阻率 ( 表面或體積 )。傳統(tǒng)測量方法對樣本應(yīng)用足夠大的電壓，測量流經(jīng)樣本的電流，然后使用歐姆定律 (R=V/I) 算出電阻。盡管高阻材料和器件產(chǎn) 生的電流很小，很難準(zhǔn)確測量，但吉時利靜電計(jì)和皮安計(jì)可以成功地完成這些測量。

即使使用的是優(yōu)質(zhì)儀器，材料中固有的背景電流仍可能使其 很難準(zhǔn)確地執(zhí)行測量。由于壓電效應(yīng)、靜電對電容元件充電 及偏振效應(yīng)，絕緣材料、聚合物和塑料一般都有背景電流。 背景電流通常大于等于應(yīng)用的電壓產(chǎn)生的電流。在這些情況 下，結(jié)果通常會不穩(wěn)定，提供的電阻讀數(shù)或電阻率讀數(shù)不準(zhǔn)， 甚至?xí)a(chǎn)生錯誤的負(fù)值。吉時利 6517B 就是為解決這些問 題而設(shè)計(jì)的，可以一致地、可重復(fù)地、準(zhǔn)確地測量各種材料 和元件，特別是在與 8009 電阻率測試夾具結(jié)合使用時。

交換電極高電阻率測量方法

6517B 采用交換電極方法，幾乎消除了樣本中任何背景電 流的影響，另外也抵消了背景電流的一級和二級漂移。交換 電極方法應(yīng)用正極性電壓，然后在指定延遲 ( 測量時間 ) 后 測量電流。然后顛倒極性，使用相同的延遲再次測量電流。 這一過程一直重復(fù)，最后根據(jù)四個最新電流測量的加權(quán)平均 值計(jì)算出電阻。 在大多數(shù)材料上，通過 7 次反轉(zhuǎn) ( 即舍棄 前三個讀數(shù) )，這種方法一般可以得出高度可重復(fù)的、準(zhǔn)確 的電阻 ( 或電阻率 ) 測量數(shù)據(jù)。例如，在 8009 電阻率測試 夾具中，可以以 0.3% 的可重復(fù)率測量 1mm 厚的 1014 Ω-cm 材料樣本，在 15 秒周期內(nèi)得到 <200 fA 的背景電流變化。

與內(nèi)置源增強(qiáng)高阻測量準(zhǔn)確度

濕度和溫度會明顯影響材料的電阻率值。為幫助您準(zhǔn)確比較 在變化條件下采集的讀數(shù)，6517B 提供了一個內(nèi)置 K 型熱 電耦，并可以選配 6517-RH 相對濕度探頭。內(nèi)置 50,000 個讀數(shù)的數(shù)據(jù)存儲緩沖器可以記錄和調(diào)用測量數(shù)據(jù)，包括測 量時間、溫度和相對濕度戳記。

完整的高電阻率測量解決方案

可以使用以下套件，采用標(biāo)準(zhǔn) ASTM D-257 “絕緣材料的DC 電阻或電導(dǎo)”規(guī)定的方法執(zhí)行高電阻率測量：

KICKSTARTFL-HRMA2 高電阻率應(yīng)用，適用 KickStart儀器軟件控制環(huán)境

6517B 靜電計(jì)

8009 電阻率測試夾具