Keithley 6517B 靜電計 / 高阻表是全球科研實驗室靈敏測量的標準。吉時利在弱電測量方面擁有 60 多年的專業經驗，吉時利靜電計能夠可靠地測量最低 10 aA (10×10-18A) 電流、最低 1 fC 電荷，并支持最高 1018Ω 的電阻測量。6517B 還能夠測量高達 200 V 的最大電壓范圍，輸入阻抗超過 200 TΩ。所有這些性能都融合在一臺儀器中，操作起來像數字萬用表一樣簡便。

主要特點

測量高達 1018 Ω的電阻

10 aA (10×10-18 A) 電流測量分辨率

6517B、8009 電阻率測試夾具和 KickStart 高電阻率應用相結合，為 ASTM D257 高電阻率測量提供完整的硬件和軟件解決方案

<3 fA 輸入偏置電流

6 位半高準確度測量模式

最低電流范圍上 <20μV 壓降

高達 200 V 電壓測量，>200TΩ 輸入阻抗

內置 ±1000 V 電壓源

獨有高阻測量交換電極電壓源和測量方法

內置測試序列，支持四種不同器件表征測試、表面和體電阻率、表面絕緣電阻和電壓掃描

選配插入式掃描卡，可使用一個測試設置測試最多 10個器件或材料樣本

GPIB 和 RS-232 接口

杰出的性能指標

6517B 把吉時利數十年的弱電測量技術知識融匯到創新的低電流輸入放大器中，輸入偏置電流 <3 fA，噪聲僅 0.75fA p-p，最低電流范圍上壓降 <20 μV。對近似理想的電路 負荷，電壓電路輸入阻抗超過 200 TΩ。這些指標保證了所需的準確度和靈敏度，可以在物理、光學、納米科技和材料科學等領域準確地進行低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測 量。內置 ±1 kV 電壓源擁有掃描功能，簡化了絕緣材料上的漏流、擊穿和電阻測試及體電阻率 (W-cm) 和表面電阻率(W/square) 測量工作。

寬測量范圍

6517B 在電流、電阻、電壓和電荷測量量程的整個頻寬上提供了自動量程功能。6517B 融合了以下測量功能：

超靈敏電流表，可測量 10 aA ~ 20 mA 電流

阻抗最高的電壓表，可測量 1mV ~ 200 V 電壓

超高范圍電阻表，可測量 1Ω ~ 1018 Ω 電阻

靈敏的電量計，可測量 1 fC ~ 2μC 電荷

交換電極電壓源方法消除了材料中背景電流的影響，可以進行可重復的、準確的高阻和電阻率測量。

改進高電阻率測量

許多測試應用要求材料有高電阻率 ( 表面或體積 )。傳統測量方法對樣本應用足夠大的電壓，測量流經樣本的電流，然后使用歐姆定律 (R=V/I) 算出電阻。盡管高阻材料和器件產 生的電流很小，很難準確測量，但吉時利靜電計和皮安計可以成功地完成這些測量。

即使使用的是優質儀器，材料中固有的背景電流仍可能使其 很難準確地執行測量。由于壓電效應、靜電對電容元件充電 及偏振效應，絕緣材料、聚合物和塑料一般都有背景電流。 背景電流通常大于等于應用的電壓產生的電流。在這些情況 下，結果通常會不穩定，提供的電阻讀數或電阻率讀數不準， 甚至會產生錯誤的負值。吉時利 6517B 就是為解決這些問 題而設計的，可以一致地、可重復地、準確地測量各種材料 和元件，特別是在與 8009 電阻率測試夾具結合使用時。

交換電極高電阻率測量方法

6517B 采用交換電極方法，幾乎消除了樣本中任何背景電 流的影響，另外也抵消了背景電流的一級和二級漂移。交換 電極方法應用正極性電壓，然后在指定延遲 ( 測量時間 ) 后 測量電流。然后顛倒極性，使用相同的延遲再次測量電流。 這一過程一直重復，最后根據四個最新電流測量的加權平均 值計算出電阻。 在大多數材料上，通過 7 次反轉 ( 即舍棄 前三個讀數 )，這種方法一般可以得出高度可重復的、準確 的電阻 ( 或電阻率 ) 測量數據。例如，在 8009 電阻率測試 夾具中，可以以 0.3% 的可重復率測量 1mm 厚的 1014 Ω-cm 材料樣本，在 15 秒周期內得到 <200 fA 的背景電流變化。

與內置源增強高阻測量準確度

濕度和溫度會明顯影響材料的電阻率值。為幫助您準確比較 在變化條件下采集的讀數，6517B 提供了一個內置 K 型熱 電耦，并可以選配 6517-RH 相對濕度探頭。內置 50,000 個讀數的數據存儲緩沖器可以記錄和調用測量數據，包括測 量時間、溫度和相對濕度戳記。

完整的高電阻率測量解決方案

可以使用以下套件，采用標準 ASTM D-257 “絕緣材料的DC 電阻或電導”規定的方法執行高電阻率測量：

KICKSTARTFL-HRMA2 高電阻率應用，適用 KickStart儀器軟件控制環境

6517B 靜電計

8009 電阻率測試夾具