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概述：

某一維線性尺度遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于它的其他二維尺度的材料成為薄膜材料，理論上薄膜材料厚度介于單原子到幾毫米，但由于厚度小于100nm的薄膜已經(jīng)被稱為二維材料，因此薄膜材料通常指厚度介于微米到毫米的薄金屬或有機(jī)物層。

薄膜材料可以分為非電子薄膜材料和電子薄膜材料，非電子薄膜材料需要對其電學(xué)特性進(jìn)行分析，不是本方案針對的對象。電子薄膜又可以分為導(dǎo)電薄膜，介質(zhì)薄膜，半導(dǎo)體薄膜，電阻薄膜，磁性薄膜，壓電薄膜，光電薄膜，熱電薄膜，超導(dǎo)薄膜等，表面電阻率是電子薄膜電學(xué)性質(zhì)的重要參數(shù)。

電子薄膜材料表面電阻測試：

表面電阻率測試常用方法是四探針法和范德堡法，但對電子薄膜材料，范德堡法很少應(yīng)用。多數(shù)情況下，電子薄膜材料電阻率測試對測試儀器的要求沒有二維材料/石墨烯材料高，用源表加探針臺即可手動或編寫軟件自動完成測試。

電子薄膜材料電阻率測試面臨的挑戰(zhàn)：

●電子薄膜種類多，電阻率特性不同

 需選擇適合的SMU進(jìn)行測試

●被測樣品形狀復(fù)雜，需選擇適當(dāng)?shù)男拚齾?shù)

厚度修正系數(shù)對測試結(jié)果的營銷F（W/S）

原片直徑修正系數(shù)對測試結(jié)果的營銷

溫度修正系數(shù)對測試結(jié)果的影響

●環(huán)境對測試結(jié)果有影響

利用電流換向測試消除熱電勢誤差

●利用多次平均提高測試精度

需考慮測試成本

吉時利電子薄膜材料測試方案：

1、  通用配置

a.吉時利源表2450/2460/2461

b.四探針臺（間距1mm）

c.測試軟件（安泰測試系統(tǒng)集成可開發(fā)）

2、高阻電子薄膜材料測試方案

a.6221/2182A+6514X2+2000DMM

b.第三方探針臺

c.手動或軟件編程

方案優(yōu)勢：

1、  不同配置滿足不同電子薄膜材料電阻率測試需求

2、  高精度源表，即可手動測試，也可以編程自動測試

3、  高性價比

吉時利源表作為電學(xué)測量的常用儀器，在高校和研究所的相關(guān)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)幾乎都能看到，源表集多表合一、配上專業(yè)軟件可以實(shí)現(xiàn)各種定制測量，使用非常廣泛。

安泰測試作為泰克吉時利長期合作伙伴，專業(yè)提供設(shè)備選型和測試方案的提供，為西安多家企業(yè)和院校提供吉時利源表現(xiàn)場演示，并獲得客戶的高度認(rèn)可，如果您想了解吉時利源表更多應(yīng)用方案，歡迎訪問安泰測試網(wǎng)www.xyttest.cn。