使用網絡分析儀進行阻抗測量的方法有3種：

1.反射法：

反射法測量被測件的反射系數（Γx）。 反射系數Γx與阻抗的關系如下：

Γx=（Zx-Zo）/（Zx + Zo）

其中，Zo 是測量電路的特征阻抗（50Ω），Zx 是 DUT 阻抗。根據公式，測得的反射系數跟隨阻抗（Zx）變化在–1至1之間變化。在 Zx 等于 Zo 時可獲得最高的精度。阻抗越高，反射系數曲線的斜率就越慢，從而導致阻抗測量精度下降。阻抗通過以下公式計算：

Z = 50 x（（1 + S11）/（1-S11））

反射法的阻抗測量范圍通常為 2Ω 至 1.5 kΩ（取決于所需的精度和測量頻率）。

2.串聯直通法：

串聯直通法通過將 DUT 連接成“串聯傳輸”來測量阻抗。串聯直通在測量高阻抗值時最有效：10％的精度范圍約為 5Ω 至 20 kΩ或比反射法高大約十倍。阻抗通過以下公式計算：

Z =（50 x 2）x（（1-S21）/ S21）

3.并聯直通法：

并聯直通法通過將 DUT 連接成“并聯傳輸”來測量阻抗。這是測試低阻抗值的好方法，通常用于在毫歐范圍內進行測量（如電源完整性應用）。 10％的準確度范圍為 1 mΩ 至 10 Ω，低于典型的阻抗分析儀可以達到的范圍。阻抗通過以下公式計算：

Z =（50/2）x（S21 /（1-S21））

E5061B網絡分析儀有增益相位測試端口和S參數測試端口，都可以測試阻抗。