只要您按下面的步驟執行，低電流測量調試就并不困難。下面的調試流程假設采用高分辨率 SMU (HRSMU)。如前所述，除非至少選擇 10 pA 的測量量程，否則就不能進行 fA 級的測量。如果在低電流測量中遇到麻煩，可通過下面的調試流程找到問題。

1. 不接電纜從 0 V 掃描至 1 V (30 分鐘預熱后)

a. 檢查確保所有 SMU 模塊都通過了自校準

b. 執行 SMU 偏置調零

c. 驗證有 ±3fA 基線

d. 注: 成功表示 SMU 功能正常

2. 連接探測器電纜，但不接到晶圓片探測器

a. 等待幾分鐘，讓壓電效應消散

b. 執行 SMU 偏置調零

c. 檢查基線

d. 注: 成功表示電纜沒有破損 (泄漏)

3. 把探測器電纜接到探測器的連接器板，但不接到晶圓片探測器上

a. 等待幾分鐘，讓壓電效應消散

b. 執行 SMU 偏置調零

c. 檢查基線

d. 注: 成功表示連接器板沒有泄漏

4. 把晶圓片探測器接到連接器板

a. 等待幾分鐘，讓壓電效應消散

b. 帶著觸針 (不接觸晶圓片) 執行 SMU 偏置調零

c. 帶著觸針 (不接觸晶圓片) 檢查基線

d. 注: 成功表示晶圓片探測器功能正常

電源工頻噪聲在低電流測量量程變得更為突出。這意味著要得到無噪聲的測量結果，您必須在多個電源工頻周期上對低電流測量結果積分。對于使用 ASU 進行的亞 fA 級測量，這成為極嚴峻的問題。一位實驗者曾報告他獲得較好 fA 級測量結果的唯一途徑是利用周末大樓內絕大多數電氣設備關機的機會。