源表（Source Meter Unit， SMU）廣泛用于半導體器件、材料、醫療、發光器件與光通信等行業，測量器件的伏安（I-V）特性曲線、絕緣材料的電阻值（電阻率）、電容的絕緣電阻（漏電流）、光電器件的暗電流或者L-I-V等。

源表SMU的名稱已經清晰的告訴我們，它包含了高精度電源輸出和測量， 但它僅僅是電源和萬用表的簡單拼湊嗎？為了簡要說明這個問題， 我以下列出了源表的幾個典型的應用場景：

在測量絕緣材料的電阻值（GΩ/TΩ）或 二極管的反向漏電流時，通常給被測件DUT施加電壓激勵，并測量對應的電流；

在測量常規小電阻， 或者驅動LED發光二極管時，通常給DUT施加電流激勵，測量對應的電壓值；

測量電容器、鋰電池等具備儲能特性器件時，會對其進行充放電的同時， 連續記錄電壓和電流。

通常源表SMU都具備電壓源 Vs、電流源 Is、電流源 IM、電壓表 VM四種功能，而且能夠任意搭配激勵源和測量功能，按照被測DUT特征選擇對應的模式。如下圖所示，

VFIM：電壓激勵測電流

VFVM：電壓激勵測電壓

IFIM：電流激勵測電流

IFVM：電流激勵測電壓

與直流電源稱輸出端子V+、V-不同，源表SMU通常將源的輸出端子稱為High Force、Lower Force。因此，源和測量的組合有：VFIM、VFVM、IFVM、IFIM （V/I激勵F + V/I測量M）。

在電壓和電流形成的直角坐標系中，按照電壓V的正負和電流I的正負，可以得到上圖 V/I的四個象限，大部分源表可以工作在任意的象限。

DC 直流電源一 第一象限；

DC 直流電阻負載— 第二象限

C 交流電源阻性負載—第一、三象限；

FG 函數發生器—-三象限

高性能精密源表，內置波形發生器功能，配合強大的觸發機制、可輕松實現直流、脈沖、掃描以及任意自定義波形激勵。

需要注意的是，源表SMU的脈沖電壓和電流最小脈沖寬度、 上升/下降沿的典型指標，以 Keysight B2900系列源表為例， 可以到達 10A/100uS級的電流脈沖、 或 210V/1mS級的電壓脈沖。

源表的精度固然極高， 但在脈沖激勵或IV掃描時，如果不明確被測件的特性， 就很有可能測量結果與真實值存在非常大的偏差。

如下圖所示，當測量點為藍色圓圈區域時，測量結果偏離實際響應點； 響應隨機波動或存在噪聲，需要增大測量積分時間消去波動或噪聲影響。

因此，精確測量出被測件DUT在激勵下的電壓和電流響應波形是非常重要!

下圖顯示簡化的 SMU 等效電路:

圖 — 簡化的 SMU 電路圖

由于 源/測量單元或 SMU 必須測量非常低的電流 (1fA 或更低)，根據上一章討論的理由，它們總是使用三軸輸出。