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VNA矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀校準(zhǔn)

發(fā)布日期:2025-10-20 15:50:29         瀏覽數(shù):   

1. SOLT和TRL校準(zhǔn)之間有什么差別?

矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀要求在誤差校正測(cè)量前執(zhí)行測(cè)量校準(zhǔn)。對(duì)于二端口測(cè)量,確定響應(yīng)校準(zhǔn)套件的校準(zhǔn)算法為SOLT或TRL/TRL*。
傳統(tǒng)的二端口校準(zhǔn)通常用3個(gè)阻抗標(biāo)準(zhǔn)和1個(gè)傳輸標(biāo)準(zhǔn)定義校準(zhǔn)參考平面。這些標(biāo)準(zhǔn)一般為短路、開路、負(fù)載和饋通,這就就構(gòu)成了SOLT校準(zhǔn)套件。

另一種二端口校準(zhǔn)用最少的3個(gè)標(biāo)準(zhǔn)定義校準(zhǔn)參考平面。TRL/TRL*校準(zhǔn)套件中的饋通、反射和線路標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量參數(shù)提供與使用不同算法SOLT校準(zhǔn)同樣的信息。

根據(jù)所擁有的標(biāo)準(zhǔn)和網(wǎng)絡(luò)分析儀的功能,您可使用任一種校準(zhǔn)套件。

在許多非同軸應(yīng)用中,難以制作SOLT校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn),如果不是不可能的話。而TRL/TRL*校準(zhǔn)法能夠適應(yīng)專門的或特定的同軸連接器校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)。


SOLT、TRL和LRM有哪些優(yōu)缺點(diǎn)? 參看校準(zhǔn)方法比較表

VNA矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀校準(zhǔn)(圖1)

2. 怎樣設(shè)計(jì)和驗(yàn)證 TRL校準(zhǔn)件

TRL校準(zhǔn)原理

TRL校準(zhǔn)是一種非常精確的校準(zhǔn)方式,尤其適用于網(wǎng)絡(luò)分析儀的非同軸測(cè)量。下面您將了解有關(guān) TRL校準(zhǔn)的整個(gè)環(huán)節(jié),從設(shè)計(jì) TRL標(biāo)準(zhǔn)件的要求,到設(shè)計(jì)TRL校準(zhǔn)件參數(shù)的確定,以及TRL校準(zhǔn)件設(shè)計(jì)后的驗(yàn)證。

我們大家都知道傳統(tǒng)的 SOLT校準(zhǔn),即短路-開路-負(fù)載-直通校準(zhǔn),SOLT校準(zhǔn)操作方便,測(cè)量準(zhǔn)確度跟標(biāo)準(zhǔn)件的精度有很大關(guān)系,一般只適合于同軸環(huán)境測(cè)量。

而 TRL(Thru, Reflect, Line)校準(zhǔn)是準(zhǔn)確度比 SOLT校準(zhǔn)更高的校準(zhǔn)方式,尤其適合于非同軸環(huán)境測(cè)量,例如 PCB 上表貼器件,波導(dǎo),夾具,片上晶圓測(cè)量。SOLT校準(zhǔn)通過測(cè)量1個(gè)傳輸標(biāo)準(zhǔn)件和三個(gè)反射標(biāo)準(zhǔn)件來決定 12項(xiàng)誤差模型,而TRL校準(zhǔn)是通過測(cè)量2個(gè)傳輸標(biāo)準(zhǔn)件和一個(gè)反射標(biāo)準(zhǔn)件來決定 10項(xiàng)誤差模型或者 8項(xiàng)誤差模型,取決于所用網(wǎng)絡(luò)分析儀的接收機(jī)結(jié)構(gòu)。

TRL 校準(zhǔn)極其準(zhǔn)確

TRL 校準(zhǔn)極其準(zhǔn)確,在大多數(shù)的場(chǎng)合中比 SOLT 校準(zhǔn)準(zhǔn)確多了。但是,很少有直接的TRL校準(zhǔn)件存在,一般要求用廣根據(jù)所用夾具的材料及物理尺寸,工作頻率,來設(shè)計(jì)制造出相應(yīng)的 TRL 校準(zhǔn)件。

用戶使用網(wǎng)絡(luò)分析儀測(cè)量元器件時(shí),采用不同的夾具,就要設(shè)計(jì)不同的 TRL校準(zhǔn)件,因此,對(duì)于用戶來說,有一定的難度和挑戰(zhàn)性。但事實(shí)上,由于TRL校準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)件不需要制作的像 SOLT校準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)件那么精確,TRL 校準(zhǔn)的精度只是跟TRL標(biāo)準(zhǔn)件的質(zhì)量,重復(fù)性部分相關(guān),而不是完全由標(biāo)準(zhǔn)件決定,因此,TRL校準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)件跟 SOLT相比更容易制作,它們的特性也更容易描述。

1.TRL標(biāo)準(zhǔn)件的要求

1.1 TRL標(biāo)準(zhǔn)件的要求

通常來說,TRL 標(biāo)準(zhǔn)件的要求如下:

(1)直通標(biāo)準(zhǔn)件

電氣長度為0時(shí),無損耗,無反射,傳輸系數(shù)為 1:電氣長度不為0時(shí),直通標(biāo)準(zhǔn)什的特性阻抗必須和延遲線標(biāo)準(zhǔn)件相同,無須知道損耗,如果用作設(shè)為參考測(cè)量面,電氣長度具體值必須知道,同時(shí),如果此時(shí)群時(shí)延設(shè)為0的話,參考測(cè)量面位于直通標(biāo)準(zhǔn)件的中問。

(2)反射標(biāo)準(zhǔn)件

反射系數(shù)的相位必須在正負(fù) 90度以內(nèi),反射系數(shù)最好接近1,所有端口上的反射系數(shù)必須相同,如果用作參考測(cè)量面的話,相位響應(yīng)必須知道。

(3)延遲線/匹配負(fù)載

延遲線的特性阻抗作為測(cè)量時(shí)的參考阻抗,系統(tǒng)阻抗定義為和延遲線特性阻抗一致。延遲線和直通之問的插入相位差值必須在 20 度至 160 度之間(或-20 度至160度),如果相位差值接近0或者 180 度時(shí),由于正切西數(shù)的特性,很容易造成相位模糊。另外,最優(yōu)的相位差值般取 1/4波長或 90度。

當(dāng)工作頻率范圍大于81時(shí),,即頻率跨度與起始頻率比值大于8時(shí),必須使用1條以上的延長線,以使覆蓋整個(gè)頻率范圍。當(dāng)工作頻率太高時(shí),1/4波長的延遲線物理尺才很短,不好制作,這時(shí)候,最好是選拌非0長度的直通,利用兩者差值,來增大延遲線的物理尺寸匹配的阻抗同樣確立測(cè)量時(shí)的參考阻抗,同時(shí),匹配負(fù)載在各個(gè)測(cè)試端口的反射系數(shù)必須相同。

1.2 TRL 標(biāo)準(zhǔn)件設(shè)計(jì)時(shí)的考慮

以上都是對(duì) TRL校準(zhǔn)件的通常要求,具體設(shè)計(jì)時(shí),一般有以下考慮:

(1) PCB 上連接頭的—致性越好,損耗越低,TRL 校準(zhǔn)件的效果就越理想。

(2) 直通標(biāo)準(zhǔn)件設(shè)定了參考測(cè)量面,如果是測(cè)量多端口器件時(shí),直通標(biāo)準(zhǔn)件盡量長些,以減少連接頭之問的串?dāng)_,但是也不用太長,以免浪費(fèi)空問。

(3)參考測(cè)量面最好定在直通標(biāo)準(zhǔn)件的中間,這樣的話電磁場(chǎng)相對(duì)參考測(cè)量面是對(duì)稱的。

(4)開路標(biāo)準(zhǔn)件實(shí)現(xiàn)起來最容易,但是由于開路標(biāo)準(zhǔn)件存在邊緣電容效應(yīng),所以我們必須通過測(cè)量或者 3D-EM 仿真來獲得開路標(biāo)準(zhǔn)件的邊緣電容。

(5) 短路標(biāo)準(zhǔn)件實(shí)現(xiàn)起來要麻煩些,因?yàn)橐_切的知道放置短路標(biāo)準(zhǔn)件過孔的位置,保證過孔的邊緣剛好放置在短路標(biāo)準(zhǔn)件的末端。同時(shí),短路標(biāo)準(zhǔn)件的好壞還取決于過孔的鉆孔技術(shù),般說來激光打孔比普通的機(jī)械鉆孔技術(shù)要好很多

(6)負(fù)載標(biāo)準(zhǔn)件通過2個(gè)100ohm 的表貼阻抗來實(shí)現(xiàn),般來說,設(shè)計(jì)一個(gè)低頻下的負(fù)載要比高頻下容易的多,這也是為什么高頻下設(shè)計(jì)校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件時(shí)要采用多條延遲線標(biāo)準(zhǔn)化的原因之

(7) 延遲線的相位跟信號(hào)傳播時(shí)的相速,對(duì)應(yīng)頻率,有效介電常數(shù)有關(guān)。微帶線由于沒有一個(gè)固定的介電常數(shù),所以必須使用有效介電常數(shù)來考慮空氣和 PCB板材混合后帶來的影響。

(8)設(shè)計(jì)時(shí),多條延遲線的頻率范圍最好有重疊,這樣能夠保證多條延遲線能夠覆蓋我們要求的頻率范圍。

2 TRL標(biāo)準(zhǔn)件的設(shè)計(jì)

2.1 具體參數(shù)的確定

考慮設(shè)計(jì)一個(gè)基于 Rogers 4350 板材的 TRL 校準(zhǔn)件,工作頻率范圍從 10 MHz 到20 GHz, Rogers 4350 板材的介電常數(shù)為 3.48+0.05,直通設(shè)計(jì)為非0長度,則各個(gè)標(biāo)準(zhǔn)件的具體參數(shù)如下圖所示:

VNA矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀校準(zhǔn)(圖2)

TRL校準(zhǔn)件中各個(gè)標(biāo)準(zhǔn)件的具體參數(shù)

從上表中我們可以知道各個(gè)標(biāo)準(zhǔn)件的實(shí)際物理尺寸,然后就可以開始在 PCB 上布局,布線,最后進(jìn)行制板了,大致的效果如下圖所示。

 

VNA矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀校準(zhǔn)(圖3)

TRL校準(zhǔn)件PCB上布局效果圖

3 TRL標(biāo)準(zhǔn)件設(shè)計(jì)后的驗(yàn)證

TRL校準(zhǔn)件做好之后,我們就要開始驗(yàn)證我們制作的 TRL校準(zhǔn)件到底好不好。對(duì)于短路和開路校準(zhǔn)件,我們只要保證短路或開路標(biāo)準(zhǔn)件在各個(gè)測(cè)試端口的反射系數(shù)相等就好了,至于開路標(biāo)準(zhǔn)件的邊緣電容,短路標(biāo)準(zhǔn)件的駐留電感,可以都設(shè)為 0;至于負(fù)載標(biāo)準(zhǔn)件,只要保證終止頻率時(shí),阻抗能為 50 歐姆或者接近 50 歐姆就可以了;而對(duì)于直通標(biāo)準(zhǔn)件,就沒什么具體要求了。

TRI標(biāo)準(zhǔn)件設(shè)計(jì)后最重要的驗(yàn)證是對(duì)延遲線頻率范圍的確定,由于要求延遲線標(biāo)準(zhǔn)件與直通標(biāo)準(zhǔn)件的相位差位手 20度到160度,所以我們可以通過 memorytrace 來測(cè)量出延遲線標(biāo)準(zhǔn)件與直通標(biāo)準(zhǔn)件的相位差,根據(jù)相位差從20度到 160度,我們可以確定相應(yīng)的頻率范圍,如下圖所示,從圖了我們可以知道,Linel 的頻率范圍是從 101MHz 到 820MHz,滿足我們最初設(shè)計(jì)時(shí)對(duì) Linel 的要求。同樣的,Line2 也是采用相同的方法來確定頻率范圍。此時(shí),也能夠測(cè)量出 Line1, Line2 和直通標(biāo)準(zhǔn)件之間的時(shí)延差,這將會(huì)在新件 TRL校準(zhǔn)套件時(shí)候用到。

 

VNA矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀校準(zhǔn)(圖4)

通過網(wǎng)絡(luò)分析儀驗(yàn)證 Line1 的頻率范圍

下圖是 Line1的時(shí)延測(cè)量值。

VNA矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀校準(zhǔn)(圖5)






基于網(wǎng)絡(luò)分析儀驗(yàn)證 Line1 的時(shí)延測(cè)量值

3. TRI校準(zhǔn)的具體過程

TRL 校準(zhǔn)

1 創(chuàng)建TRL校準(zhǔn)套件

完成了 TRL標(biāo)準(zhǔn)件的驗(yàn)證后,我們就可以開始創(chuàng)建新的 TRL校準(zhǔn)套件,創(chuàng)建的過程很簡(jiǎn)單,總的說來要注意以下幾點(diǎn):

(1) 短路,開路,負(fù)載標(biāo)準(zhǔn)件都只需確定頻率范圍,以及連接頭類型。

(2) 直通標(biāo)準(zhǔn)件也只需確定頻率范圍,連接頭類型,同時(shí)時(shí)延為 0。

(3)延遲線標(biāo)準(zhǔn)件,需要確定頻率范圍,時(shí)延值,多條延遲線時(shí),頻率范圍最好有交疊,來確保覆蓋整個(gè)頻率范圍。

下圖是一個(gè)創(chuàng)建 TRL校準(zhǔn)套件的實(shí)例。

 

VNA矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀校準(zhǔn)(圖6)


一個(gè)創(chuàng)建 TRL校準(zhǔn)套件的實(shí)例

2 TRI校準(zhǔn)具體過程

創(chuàng)建好 TRL校準(zhǔn)套件后,我們就可以開始進(jìn)行TRL校準(zhǔn)了。具體的過程,網(wǎng)絡(luò)分析儀的校準(zhǔn)向?qū)?huì)一步步指導(dǎo)我們?nèi)绾尾僮鳌O旅嫖覀円?4端口校準(zhǔn)為例,簡(jiǎn)單的說明下如何進(jìn)行TRL校準(zhǔn),下圖即 TRL校準(zhǔn)向?qū)У囊粋€(gè)步驟。

 

VNA矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀校準(zhǔn)(圖7)

TRI校準(zhǔn)向?qū)?/span>

TRL校準(zhǔn)后的測(cè)量結(jié)果

被測(cè)件是 Display Port 電纜,長度為2米。根據(jù) Display Port 電纜的指標(biāo),我們知道頻率不超過 300MHz 時(shí),2米長的 Display Port 電纜,其損耗大概為 2dB,基本上是單位長度上的損耗為 1dB。下圖即 Display port 電纜測(cè)量的設(shè)置環(huán)境,兩塊PCB 板,剛好各自對(duì)應(yīng)半個(gè)直通長度。

 

VNA矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀校準(zhǔn)(圖8)


Display port 電纜測(cè)量的設(shè)置環(huán)境

從下圖中,我們可以得到 Display Port 電纜測(cè)量的最終結(jié)果,當(dāng)頻率為300MHz 時(shí),S21=-2.1110dB,接近-2dB,滿足相關(guān)指標(biāo)。

 

VNA矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀校準(zhǔn)(圖9)


基于網(wǎng)絡(luò)分析儀的 Display Port 電纜測(cè)量結(jié)果

TRL校準(zhǔn)是一種非常精確的校準(zhǔn)方式,尤其適用于網(wǎng)絡(luò)分析儀的非同軸測(cè)量。這里我們?cè)敿?xì)探討了有關(guān) TRL校準(zhǔn)的整個(gè)環(huán)節(jié),從設(shè)計(jì) TRI 標(biāo)準(zhǔn)件的要求,到設(shè)計(jì)TRI 校準(zhǔn)件參數(shù)的確定,TRI 校準(zhǔn)件設(shè)計(jì)后的驗(yàn)證,以及 TRI 校準(zhǔn)時(shí)的具體過程,最后到完成這次非同軸測(cè)量,希望能為大家以后進(jìn)一步研究 TRL校準(zhǔn)提供相應(yīng)的參考。

4. 如何重新定義網(wǎng)絡(luò)分析儀電子校準(zhǔn)件?

您將了解如何重新定義電子校準(zhǔn)件。日常矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的使用中,我們經(jīng)常遇到電子校準(zhǔn)件接口類型或公母頭類型和 DUT 不一致,導(dǎo)致需要額外的轉(zhuǎn)接頭,使得測(cè)試精度降低。或者需要使用轉(zhuǎn)接頭移除等復(fù)雜操作來去除額外引入的誤差。

重新定義電子校準(zhǔn)件(ECal User Characterization)的方式,可以根據(jù)DUT接口來定義ECal的接口類型,在后續(xù)使用中就可以極大簡(jiǎn)化校準(zhǔn)過程,保證校準(zhǔn)精度。

問題描述

使用者已有N4693D(2.4mm female- 2.4mm male, 50GHz)的電子校準(zhǔn)件,但是使用者的被測(cè)件接口是2.92mm(40GHz),且都是陰頭(female),客戶的矢網(wǎng)端口已經(jīng)通過接口轉(zhuǎn)換,電纜接口變換為2.92mm male。

如下示意圖,是描述如何對(duì)現(xiàn)有的 N4693D(2.4mm female- 2.4mm male , 50GHz)進(jìn)行"Characterize ECal", 這樣做的目的是重新定義ECal,將原有2.4mm接口的電子校準(zhǔn)件定義為帶有2.4mm-2.92mm轉(zhuǎn)接頭的電子校準(zhǔn)件(40GHz,2.92mm接口),方便后續(xù)校準(zhǔn),不需其它復(fù)雜操作,減少誤差引入。推薦閱讀:

具體過程包含如下3步:

1.在設(shè)置矢網(wǎng)后,并對(duì)矢網(wǎng) 2.92mm接口用其它 2.92mm機(jī)械或電子校準(zhǔn)件進(jìn)行全雙端口校準(zhǔn)(該 2.92mm校準(zhǔn)件只需要使用一次,后續(xù)校準(zhǔn)過程中不需要,所以可以通過短暫借用別人的 2.92mm校準(zhǔn)件來使用):

 2. 對(duì)需要重新描述(定義)參數(shù)的 ECal,接口進(jìn)行轉(zhuǎn)接到目標(biāo)接口類型,如下所示,ECal校準(zhǔn)件左右安裝了轉(zhuǎn)接頭到2.92mm(female),這樣原有 N4693D和轉(zhuǎn)接頭結(jié)合在一起,經(jīng)過重新定義(表述)后就是一個(gè)2.92mm接口的 ECal:

 3. 對(duì)需要重新描述(定義)參數(shù)的ECal(第2步準(zhǔn)備好的),使用第1步中準(zhǔn)備好的矢網(wǎng)進(jìn)行測(cè)試,最終獲得重新定義ECal的數(shù)據(jù)并盡量保存在矢網(wǎng)的硬盤中(VNA Disk Memory),不要保存到ECal內(nèi)的ECal Module Memory(這種操作會(huì)對(duì)ECal內(nèi)部存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)擦除并重新寫入新的數(shù)據(jù),有可能會(huì)有損壞ECal的風(fēng)險(xiǎn));

 如下舉例,具體過程如下

(將原有的電子校準(zhǔn)件N4691D,3.5mm, Male-Female;定義并描述為N4691D,3.5mm, Female- Female的電子校準(zhǔn)件,通過校準(zhǔn)后,矢網(wǎng)就可以直接用來測(cè)量(3.5mm,SMA,2.92mm,20GHz)Female- Female的被測(cè)件了):

1. 在把N4691D(3.5mm Type , Male-Female)校準(zhǔn)件重新定義為N4691D(3.5mm Type, Female- Female)的校準(zhǔn)件前,先用機(jī)械校準(zhǔn)件在3.5mm -male 的測(cè)試線纜端面進(jìn)行2 port校準(zhǔn),這里作為例子,并保存成Cal Set " 85021-2portCal-10MHz-20GHz"。

2. 啟動(dòng)"Characterize ECal"

 3. 選擇ECal重新定義數(shù)據(jù)的保存位置為儀器內(nèi)部硬盤“Instrument Disk Memory”,這個(gè)是要非常重要(否則有可能將N4691D 內(nèi)部存儲(chǔ)的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)擦除),然后對(duì)重新定義后的校準(zhǔn)件添加簡(jiǎn)單描述;

 4.選件接口類型(這里選擇為 APC 3.5 female),如果要定義為2.92mm型接口,則可以選擇2.92 mm female。

 5. 選擇之前使用機(jī)械校準(zhǔn)件保存的Cal Set“85021-2portCal-10MHz-20GHz”

 如果有如下提示,選擇第一項(xiàng):

 6. 如下提示,將Port1 和A口,port 2和B口連接,并測(cè)量:

 7. 為新定義ECal添加新的描述:

 8. 重新檢查,電子校準(zhǔn)件測(cè)量的描述數(shù)據(jù)將被寫入到PNA(指當(dāng)前的儀器)硬盤中,點(diǎn)擊“Write” Ecal 被重新定義的數(shù)據(jù)就寫入到了硬盤中,并顯示總體信息:

 9.使用該重新定義的ECal:?jiǎn)?dòng)校準(zhǔn)向?qū)В?/span>

 選擇DUT接口類型,選擇新定義的校準(zhǔn)件:

 10. 校準(zhǔn)后,驗(yàn)證,測(cè)試一個(gè)3.5mm female-female的轉(zhuǎn)接頭性能,該轉(zhuǎn)接頭性能之前已經(jīng)評(píng)估過,延時(shí)81ps,這里驗(yàn)證也是非常吻合。

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