TH2690測試絕緣薄膜液滴電荷量
使用 TH2690測試絕緣薄膜材料上液滴的兩點間電荷量的具體操作如下:

圖1.1.薄膜材料
一、測試前準備
1. 儀器與環境準備
儀器預熱:開機后預熱≥60 分鐘,確保電子元件穩定(電荷測量對溫漂敏感,預熱不足會導致精度偏差)。
環境控制:
溫度:23℃±5℃,避免溫度波動導致液滴蒸發或絕緣材料漏電變化;
濕度:30%~80% RH(無凝結),潮濕會降低絕緣薄膜電阻,產生漏電流,建議搭配溫濕度傳感器實時監控;
抗干擾:測試區域遠離高壓設備、強磁場,避免外部電場導致容性耦合噪聲;同時避免強光直射,防止絕緣材料或液滴產生光生電荷。
2. 樣品與探針準備
絕緣薄膜處理:
用無水乙醇清潔薄膜表面,去除油污、灰塵,避免污染物形成 “漏電通道”;
固定薄膜于絕緣支架),確保薄膜平整,無褶皺(褶皺會導致液滴分布不均,電荷測量偏差)。
圖1.2材料制樣
液滴準備:
液滴體積需固定(如 5μL),避免體積變化導致接觸面積差異;建議用微量移液管滴加,滴加后靜置 30 秒,待液滴穩定。
探針選擇與清潔:
選用金屬探針(如鎢針)+ 絕緣手柄,探針尖端打磨光滑(避免劃傷薄膜),測試前用異丙醇擦拭探針,去除殘留電荷;
探針間距固定(如 5mm),可通過探針夾具定位,確保每次測試兩點距離一致(間距變化會影響電荷分布,導致數據重復性差)。

圖1.3簡易探針示意
二、硬件連接
TH2690 電荷測量需通過三同軸電纜實現低噪聲傳輸(避免普通電纜的摩擦起電噪聲),具體連接如下
連接部件 | 操作細節 |
三同軸電纜 | 一端接儀器前面板 “電流表輸入連接器”(A 端),另一端通過轉接頭連接測試探針(需確保屏蔽層接觸良好)。 |
公共端(Common)接地 | 用隨附香蕉插頭將儀器 “公共端” 與機箱地(Ground)短接,避免公共端浮地產生 ±500V 危險電壓,同時消除地電位差導致的漏電流。 |
屏蔽盒(可選但推薦) | 將絕緣薄膜、液滴、探針置于金屬屏蔽盒內,屏蔽盒接地,減少外部電場干擾;屏蔽盒門需配聯鎖電路(若涉及高壓,此處電荷測量雖無高壓,但可進一步降低噪聲。 |
探針與測試點連接 | 探針 1 接觸液滴邊緣一點,探針 2 接觸液滴另一邊緣點(兩點需在液滴內,避免接觸薄膜空白區域),接觸時輕壓探針,確保穩定接觸(避免探針晃動導致電荷轉移)。 |
三、儀器參數設定
進入 TH2690操作界面,按以下步驟配置參數
1. 切換至電荷測量模式
按前面板Func 鍵,在彈出的功能菜單中選擇 “靜電儀”(char 模式);
確認主界面顯示 “電荷(Q)” 參數(單位:C/nC/fC),若未顯示,通過 “設定 - 波形設定” 勾選 “電荷” 顯示項。
2. 核心參數設定(進入 “設定 - 測量設定 - 靜電儀” 界面)

圖1.4 儀器設置界面
參數項 | 設定建議 | 依據與注意事項 |
電荷量程 | 根據液滴電荷量估計選擇:- 若為 nC 級(常見液滴電荷):選 “2nC”“20nC” 或 “200nC”;- 若為 μC 級:選 “2μC”;- 不確定時選 “2~20nC”(自動切換量程)。 | 電荷量程表,量程過大會導致分辨率不足(如 2μC 量程測 2nC 電荷,分辨率僅 1pC),過小會觸發超限放電。 |
測試速度 | 10~50PLC(1PLC=20ms,即 200ms~1s / 次) | 速度過快(<5PLC)會增加噪聲,過慢(>50PLC)會導致液滴蒸發;建議 10PLC,平衡精度與效率。 |
自動放電 | 打開(ON) | 當電荷量達到 “放電等級” 時自動復位,避免量程超限(如液滴電荷突然增加導致測量溢出)。 |
放電等級 | 比所選量程低 1 級(如量程 20nC,放電等級選 2nC) | 避免過早放電導致數據中斷,同時防止電荷積累損壞儀器。 |
濾波模式 | 滑動濾波(取樣數 5~10) | 滑動濾波可平滑瞬時噪聲(如探針接觸時的電荷波動),取樣數不宜過大(否則響應變慢)。 |
3. 測量配置優化(進入 “設定 - 測量配置” 界面)
MATH 功能:若需扣除薄膜背景電荷(空白薄膜的殘余電荷),選擇 “偏差計算”((data-std)/std),其中 “std” 設為空白薄膜的電荷測量值(提前測 3 次取平均值),消除背景干擾。
波形顯示:進入 “設定 - 波形設定”,選擇 “曲線圖”,X 軸設 “時間(t/s)”,Y 軸設 “電荷(Q/C)”,打開 “自動標尺”,實時觀察電荷變化曲線(判斷數據是否穩定)。
四、零點校正:消除儀器失調電荷
電荷測量對零點漂移敏感,需在測試前執行清零操作:
保持探針懸空(不接觸任何物體),確保測量回路開路;
按前面板ZERO 鍵,主界面底部顯示 “ZERO” 標志,儀器記錄當前失調電荷值(如 0.05fA 對應的電荷漂移);
等待 30 秒,確認零點穩定后,再次按 ZERO 鍵(或保持開啟),后續測量會自動扣除失調電荷。
五、樣品測試:實時測量與數據記錄

圖1.5測試液滴
1. 啟動測量
確認探針已穩定接觸液滴的兩個測試點(無晃動);
按前面板Run/Stop 鍵(綠燈亮起),儀器開始連續測量,主界面顯示實時電荷量(如 “+1.23nC”),曲線圖同步顯示電荷隨時間的變化(若曲線波動≤±0.05nC,說明數據穩定)。
2. 數據記錄與重復性驗證
單次測量:待數據穩定后(通常 10~20 秒),記錄主界面顯示的電荷值;
重復性測試:同一液滴重復測量 3 次,若 3 次數據偏差≤1%,取平均值作為最終結果(若偏差過大,檢查探針接觸是否穩定、液滴是否蒸發);
數據保存:進入 “系統 - 系統環境”,打開 “數據保存”,測試數據以 CSV 格式保存至 USB 閃存,便于后續分析(包含時間、電荷量、溫度、濕度等參數)。
3. 異常處理
若顯示 “OVERFLOW”(超限):檢查量程是否過小,或液滴電荷過大,需切換至更大量程(如從 20nC 切換至 200nC);
若數據波動劇烈:檢查屏蔽盒是否接地、探針是否清潔、環境是否有氣流(氣流會導致液滴晃動),排除干擾后重新測試;
若出現錯誤代碼(如 Errorcode 3:V 板自檢錯誤):進入 “工具 - 錯誤信息” 查看原因,按提示重啟儀器或聯系同惠售后。
安全放電與儀器維護
1.停止測量與放電:
按 Run/Stop 鍵停止測量(綠燈熄滅);
若自動放電未開啟,需手動短接兩個探針(或用接地導線接觸液滴),釋放殘余電荷(避免下次測試受殘留電荷影響)。
2.儀器關閉:
按前面板Source 鍵(若誤開啟電壓源,需先關閉),再長按電源鍵關機;
拔下三同軸電纜和 USB 閃存(拔 USB 前等待 10 秒,避免數據損壞)。
3.樣品與探針清潔:
用無塵布蘸異丙醇擦拭探針,去除液滴殘留;
絕緣薄膜如需重復測試,需重新清潔并滴加新液滴(避免殘留電荷干擾)。
注意事項
絕緣材料漏電控制:測試過程中禁止用手接觸探針或薄膜(人體靜電會轉移至樣品),建議佩戴防靜電手環并接地;
容性耦合消除:三同軸電纜需固定(避免晃動產生摩擦起電噪聲,),電纜長度≤1.5m(過長會增加分布電容,影響電荷測量);
校準周期:儀器校準周期為 1 年,若長期未校準,需聯系同惠售后重新計量(確保電荷測量精度);
安全風險:雖電荷測量無高壓,但公共端未接地時可能存在 ±500V 電壓測試中嚴禁觸摸公共端、探針等金屬部件。











關注官方微信
