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　　MEMS(微機電系統]是一種基于CMOS工藝的集成技術。它將傳感器/微處理器/信號處理與控制集于一體，有效縮小了系統的體積，是一種先進的加工技術。

　　MEMS測試難點:

　　1.泄露電流是MEMS的必測項目。泄漏電流是指MENS在非工作狀態時的電流值，其值大小將決定系統能耗的大小。MEMS系統的泄漏電流一般都小至pA量級，因此在測試泄漏電流時，需要帶前量放大器的高精度的源表設備。

　　2.電容是MEMS的必測項。電容式微傳感器是MEMS系統中常用的傳感器，它負責接收外界的信號并轉換為電學信號。這個電容值很小，一般為pF量級。測試設備所能施加的交流頻率和電容測量的精度是需要考慮的因素。

　　3.電阻是MEMS的必測項。電阻式傳感器在MEMS系統中非常常見其阻值的變化可以表征外界信號的變化。MEMS系統中的電陽范圍較大，因此測試設備的電壓電流動態范圍也必須足夠大。

　　4.MEMES工藝監控也是MEMS測試的重要內容。MEMS使用CMOS工藝進行加工制造，為使系統性能穩定，各步驟工藝必須嚴格監測。比如載流子濃度，載流子遷移率都能都是需要監測的參數。這需要使用能進行此類測試的電學設備。

　　測試方案:

　　測試設備:4200A-SCS，SMU模塊+CVU模塊，TH2851阻抗分析儀

　　測試載臺:高功率探針臺/測試夾具

　　TH2851系列阻抗分析儀也徹底超越了國外同類儀器120MHz的頻率瓶頸；解決了國外同類儀器只能分析、無法單獨測試的缺陷；中英文操作界面也解決了國外儀器僅有英文界面的尷尬；采用單測和分析兩種界面，讓測試更簡單。