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吉時(shí)利2450源表在薄膜材料電阻率測(cè)試中的應(yīng)用

發(fā)布日期:2024-02-29     作者: 安泰測(cè)試     瀏覽數(shù):   

  最近,我遇到了一個(gè)關(guān)于測(cè)試薄膜材料電阻率的項(xiàng)目。客戶需要一個(gè)探針臺(tái),并且需要配備一臺(tái)儀器來(lái)進(jìn)行電阻率測(cè)試。為了滿足客戶的要求,我決定采用四探針?lè)由显幢淼姆椒▉?lái)進(jìn)行薄膜材料的電阻率測(cè)試。

  四探針?lè)ㄊ且环N常用的測(cè)試電阻率的方法,它通過(guò)使用四個(gè)探針來(lái)測(cè)量薄膜材料的電阻。這種方法可以減少接觸電阻的影響,提高測(cè)試的準(zhǔn)確性。而源表則是一種用于電阻測(cè)試的儀器,它可以提供穩(wěn)定的電流源和精確的電壓測(cè)量,從而實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的電阻率測(cè)試。

  測(cè)試方案搭配:

  方案一:

  探針臺(tái)+源表

吉時(shí)利2450源表在薄膜材料電阻率測(cè)試中的應(yīng)用(圖1)

探針臺(tái)示意圖

吉時(shí)利2450源表在薄膜材料電阻率測(cè)試中的應(yīng)用(圖2)

源表示意圖

  搭配示例:

  廣州四探針RTS-2型臺(tái)子:

  基本指標(biāo):

  間距:1±0.01mm;

  針間絕緣電阻:≥1000MΩ;

  機(jī)械游移率:≤0.3%;

  探針:碳化鎢或高速鋼材質(zhì),探針直徑Ф0.5mm;

  探針壓力:5~16牛頓(總力);

吉時(shí)利2450源表在薄膜材料電阻率測(cè)試中的應(yīng)用(圖3)

  吉時(shí)利2450源表

吉時(shí)利2450源表在薄膜材料電阻率測(cè)試中的應(yīng)用(圖4)

吉時(shí)利2450源表在薄膜材料電阻率測(cè)試中的應(yīng)用(圖5)

  原理簡(jiǎn)述:

  什么是電阻率?

吉時(shí)利2450源表在薄膜材料電阻率測(cè)試中的應(yīng)用(圖6)

  一種材料的電阻率表征的是阻礙電流流過(guò)的能力的大小。其單位為Ω·m/Ω·cm。如果電流很容易在某種材料中流過(guò),那么該材料有較低的電阻率;如果電流很難流過(guò)某種材料,那么該材料有較高的電阻率,電阻率為材料的本質(zhì)物理屬性,與大小和形狀無(wú)關(guān)。

  常見(jiàn)材料電阻率:

吉時(shí)利2450源表在薄膜材料電阻率測(cè)試中的應(yīng)用(圖7)

  薄膜材料電阻率測(cè)試----方塊電阻:

吉時(shí)利2450源表在薄膜材料電阻率測(cè)試中的應(yīng)用(圖8)

  ρ:?jiǎn)挝沪浮

  V:測(cè)得的電壓

  I:測(cè)得的電流

  W:寬

  H:高

  L:長(zhǎng)

  補(bǔ)充:

  ?通常需要測(cè)各種材料的薄膜或薄片電阻,如果材料可以做成長(zhǎng)方形,那么就可以像測(cè)量條狀樣品一樣測(cè)量電阻率;

  ?有一種特殊情況,當(dāng)W寬度和L長(zhǎng)度相等時(shí),此時(shí)材料為正方形,電阻值被稱為方塊電阻Rs,即表面電阻率。

  薄膜材料電阻率測(cè)試----四探針?lè)ǎ?/span>

吉時(shí)利2450源表在薄膜材料電阻率測(cè)試中的應(yīng)用(圖9)

吉時(shí)利2450源表在薄膜材料電阻率測(cè)試中的應(yīng)用(圖10)

  ?對(duì)于任意形狀和任意大小的薄膜材料,比較方便的方法是四探針?lè)?/span>

  ?要求:

  ①四點(diǎn)共線②四根針等間距③材料長(zhǎng)度和寬度遠(yuǎn)大于探針間距。

  測(cè)試提示:

  探針接觸方式

  探針接觸應(yīng)保持一定的壓力,但不同材料的性質(zhì)不同,有些材料的電阻率會(huì)隨外加壓力變化而改變,因而測(cè)試前要依據(jù)具體的測(cè)試材料而適當(dāng)?shù)母淖兲结槈毫ΑJ紫扔么终{(diào)鍵旋轉(zhuǎn)探針至樣品表面,略有壓力后停止。再細(xì)調(diào)一定距離,保證測(cè)量時(shí)表面讀數(shù)穩(wěn)定后即可。

  總而言之,為了滿足客戶的需求,我決定采用四探針?lè)?源表的方法來(lái)進(jìn)行薄膜材料的電阻率測(cè)試。這種方法可以提供準(zhǔn)確的測(cè)試結(jié)果,并且避免了接觸電阻的影響。通過(guò)這種方法,我們可以為客戶提供高質(zhì)量的測(cè)試服務(wù)。


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