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　　系統(tǒng)背景：

　　電阻率是決定半導(dǎo)體材料電學(xué)特性的重要參數(shù)，為了表征工藝質(zhì)量以及材料的摻雜情況，需要測試材料的電阻率。半導(dǎo)體材料電阻率測試方法有很多種，其中四探針法具有設(shè)備簡單、操作方便、測量精度高以及對(duì)樣品形狀無嚴(yán)格要求的特點(diǎn)。目前檢測半導(dǎo)體材料電阻率，尤其對(duì)于薄膜樣品來說，四探針是最常用的方法。

　　四探針技術(shù)要求使用四根探針等間距的接觸到材料表面。在外邊兩根探針之間輸出電流的同時(shí)，測試中間兩根探針的電壓差。最后，電阻率通過樣品的幾何參數(shù)，輸出的電流和測到的電壓值來計(jì)算得出。

　　四探針法測量半導(dǎo)體電阻率測試方案，使用美國吉時(shí)利公司開發(fā)的高精度源測量單元（SMU），既可以在輸出電流時(shí)測試電壓，也可以在輸出電壓時(shí)測試電流，。輸出電流范圍從皮安級(jí)到安培級(jí)可控，測量電壓分辨率高達(dá)微伏級(jí)，。支持四線開爾文模式，因此適用于四探針測試，可以簡化測試連接，得到準(zhǔn)確的測試結(jié)果。

　　不同材料的電阻率特性

　　方案特點(diǎn)：

　　-系統(tǒng)提供上位機(jī)軟件，內(nèi)置電阻率計(jì)算公式，符合國標(biāo)硅單晶電阻率測試標(biāo)準(zhǔn)，測試結(jié)束后直接從

　　電腦端讀取計(jì)算結(jié)果，方便后續(xù)數(shù)據(jù)的處理分析；

　　-提供正向/反向電流換向測試，可以通過電流換向消除熱電勢誤差影響，提高測量精度值；

　　-四探針頭采用碳化鎢材質(zhì)，間距1毫米，探針位置精確穩(wěn)定。采用懸臂式結(jié)構(gòu)，探針具有壓力行程，

　　針對(duì)不同材料的待測件，不同針尖直徑的針頭選項(xiàng)；

　　-探針臺(tái)具備粗/細(xì)兩級(jí)高度調(diào)整，細(xì)微調(diào)整時(shí)，高度分辨率高達(dá)2微米，精密控制探針頭與被測物之間

　　的距離，防止針頭對(duì)被測物的損害；

　　-載物盤表面采用絕緣特氟龍涂層，降低漏電流造成的測試誤差。

　　高品質(zhì)四探針頭，提供多種針尖直徑

　　粗細(xì)兩級(jí)針臂高度調(diào)節(jié)，分辨率高達(dá)2um

　　軟件功能：

　　-輸出電流并測試電壓，電阻，電阻率，電導(dǎo)率，薄層電阻等，記錄數(shù)據(jù)，并根據(jù)測試結(jié)果繪制曲線；

　　-軟件在Windows 7/8/10平臺(tái)下使用，測試方法符合GB/T 1551/1552等國家測試標(biāo)準(zhǔn)；

　　-提供多種修正參數(shù)幫助提高電阻率測試精度；

　　-配合吉時(shí)利2450/2460/2461高精度源表使用，確保測試精度和一致性。

　　系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：

　　系統(tǒng)主要由吉時(shí)利源表（SMU）、四探針臺(tái)和上位機(jī)軟件組成。四探針可以通過前面板香蕉頭或后面板排線接口接到源表上。

　　系統(tǒng)指標(biāo)：

　　電阻率測試范圍：0.001Ω?cm~100MΩ?cm

　　探針頭壓力合力：S型懸臂式彈簧，合力6~10 N

　　絕緣電阻：500V下>1GΩ

　　系統(tǒng)誤差：<2%(<1Ω?cm時(shí)，誤差小于0.5%)

　　探針頭間距：1mm,1.27mm,1.59mm可選，使用紅寶石套軸，探針游移率<0.2%

　　針尖壓痕直徑：25 um~450um不同規(guī)格可選

　　通信接口：LAN/USB/GPIB

　　探針臺(tái)尺寸：240mm x 160mm x 280mm

　　系統(tǒng)配置：

　　四探針探針臺(tái)

　　四探針針頭

　　源表端四線香蕉頭連接線

　　四探針測試軟件

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